特許

J-GLOBAL ID：200903031573933220

誘電体素子、圧電素子、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置、並びにこれらの製造方法

発明者： 伊福 俊博 ,  松田 堅義 ,  青木 活水 ,  武田 憲一 ,  和佐 清孝
出願人/特許権者： キヤノン株式会社 ,  和佐 清孝
代理人 (3件)： 宮崎 昭夫 ,  伊藤 克博 ,  石橋 政幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-055549
公開番号（公開出願番号）：特開2005-244133
出願日： 2004年02月27日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 特性が良好で薄膜化が可能な誘電体、圧電体およびそれらの製造方法を提供すること、更には、この圧電体素子を用いたインクジェットヘッド等のアクチュエータを提供すること。【解決手段】 圧電体などとして利用できる誘電体を、比誘電率の異なる2種の誘電体層の積層構造を有するように形成する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

上部電極層と下部電極層の間に誘電体層を設けた積層構造を有する誘電体素子において、 前記誘電体層が、元素組成の異なる第一の誘電体層と第二の誘電体層の2層を少なくとも有し、前記第一の誘電体層が第二の誘電体層との境界側で少なくとも1成分の組成が他の成分に対して傾斜構造である事を特徴とする誘電体素子。

IPC (9件)：

H01L41/22 ,  B41J2/045 ,  B41J2/055 ,  B41J2/16 ,  H01G4/12 ,  H01G4/33 ,  H01L41/18 ,  H01L41/187 ,  H02N2/00

FI (9件)：

H01L41/22 Z ,  H01G4/12 394 ,  H02N2/00 B ,  H01L41/18 101E ,  H01L41/18 101F ,  H01L41/18 101Z ,  B41J3/04 103A ,  B41J3/04 103H ,  H01G4/06 102

Fターム (20件)：

2C057AF03 ,  2C057AF93 ,  2C057AG15 ,  2C057AG44 ,  2C057AP02 ,  2C057AP14 ,  5E001AB06 ,  5E001AC10 ,  5E001AD04 ,  5E001AE03 ,  5E001AE04 ,  5E001AH03 ,  5E082AB03 ,  5E082EE23 ,  5E082EE37 ,  5E082FF15 ,  5E082FG26 ,  5E082FG42 ,  5E082KK01 ,  5E082PP09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 圧電アクチュエータおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-250536   出願人：松下電器産業株式会社
• 米国特許第5804907号明細書