マグネトロンスパッタ用カソード電極

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田宮寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-191277
公開番号（公開出願番号）：特開平9-020979
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】大面積基板の成膜に用いられるマグネトロンスパッタ用カソード電極で、膜厚分布の非対称性と基板端部で生じる膜厚減少をなくし、面積の大きい大型基板における膜厚分布の均一性を確保する。【構成】中心磁石と周辺磁石を含む磁石ユニット(24,51,52,61) であってターゲット17の表面上にプラズマを生成するためのトンネル状磁力線を生じる当該磁石ユニットを、その運動方向に少なくとも1個並べることにより構成される磁石装置と、この磁石装置を周期的に往復運動する駆動装置(モータ34と機構部)とを備え、磁石装置の往復運動工程における両端部の少なくとも一方の箇所に、磁石装置による磁界を調整し、これによりターゲット上に生じる放電を均等化する磁性体(磁気シャント)39を配置するように構成される。

請求項（抜粋）：

ターゲットと、中心磁石と周辺磁石からなり前記ターゲット上にトンネル状磁力線を形成する磁石ユニットを含む磁石装置と、前記磁石装置を周期的に往復運動する駆動装置とを備えたマグネトロンスパッタ用カソード電極において、前記磁石装置の往復運動工程の両端部の対角線上に位置する箇所に、前記磁石装置による磁界を調整し前記ターゲット上に生じる放電を均等化する磁性体を配置することを特徴とするマグネトロンスパッタ用カソード電極。

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