特許

J-GLOBAL ID：200903031585773733

凸欠陥検査方法と装置、および磁気転写方法と装置

発明者： 長崎 達夫 ,  中嶋 伸也 ,  浜田 泰三 ,  松田 信英 ,  蜂谷 修二
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 石原 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-059780
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249080
出願日： 2000年03月06日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 微細な凹部があるか凹部があり得る検査面を凸欠陥のみを高精度に検出できるようにし、併せてディスクの凸欠陥によるマスタのダメージや磁気転写不良を回避して磁気転写できるようにする。【解決手段】 検査面1aに対してほぼ平行、または小さな角をなした光軸2上で照明光3を照射し、検査面1aと鋭角となる光軸4上で凸欠陥5により生じる後方散乱光3aを凸欠陥5として検出することにより、また、ディスク1の磁気転写を受ける面1a上の凸欠陥5を検出する検査工程と、検査工程にて凸欠陥5が検出されなかったディスク1bにつき、検査に続いてマスタ31を接面させて磁気転写を行う磁気転写工程とを備えることにより、上記の目的を達成する。

請求項（抜粋）：

検査対象の微小な凹部を持ち、あるいは持つことのある検査面に対してほぼ平行、または小さな角をなした第1の光軸上で検査面に照明光を照射し、検査面とのなす角が鋭角となる第2の光軸上で検査面上の凸欠陥により生じる前記照明光の後方散乱光を凸欠陥として検出することを特徴とする凸欠陥検査方法。

IPC (4件)：

G01N 21/95 ,  G11B 5/84 ,  G11B 5/86 ,  G11B 5/86 101

FI (4件)：

G01N 21/95 A ,  G11B 5/84 C ,  G11B 5/86 C ,  G11B 5/86 101 Z

Fターム (12件)：

2G051AA71 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BB01 ,  2G051CA03 ,  2G051CB05 ,  2G051DA05 ,  2G051DA08 ,  2G051DA13 ,  5D112AA24 ,  5D112JJ03