特許
J-GLOBAL ID：200903031587951531
静電吸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-006170
公開番号（公開出願番号）：特開平7-204962
出願日： 1994年01月25日
公開日（公表日）： 1995年08月08日
要約：
【要約】【目的】静電吸着装置の電極の数を単極型の場合2系統以上,双極型の場合3系統以上設置し、試料を吸着する際にそれぞれの電極に任意に電圧を印加することにより、試料を歪無く吸着し、試料の加工精度の向上あるいは、測定誤差の低減を図ることを目的とする。【構成】試料を吸着するための誘電体の表面を平滑に仕上げておき、裏面に電極の数を単極型の場合2系統以上,双極型の場合3系統以上設置し、それぞれの電極に任意に電圧を印加する機能を有する電圧印加用電源を接続する。【効果】試料の微細加工や精密測長などを行う場合、試料の反りを矯正し、平坦にするため、試料の加工精度の向上あるいは、測定誤差の低減を図ることが出来る。
請求項（抜粋）：
静電吸着力により、試料を保持する静電吸着装置において電極の数が、単極型の場合2系統以上,双極型の場合3系統以上有することを特徴とする静電吸着装置。
IPC (4件)：
B23Q 3/15
, H01L 21/66
, H01L 21/68
, H02N 13/00
