分析電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：土橋皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-154754
公開番号（公開出願番号）：特開平7-014538
出願日： 1993年06月25日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】試料を透過するX線をも検出して、X線検出器におけるX線の収量を多くし、また、球面収差係数を小さく保持しながら、分析点からX線検出器までの距離を短くした分析電子顕微鏡を得ることを目的とする。【構成】分析電子顕微鏡10の試料21から発生するX線を検出するX線検出器25の他に、試料保持装置23の保持軸24を中心とした対称位置に、第2のX線検出器25を配置し、また、対物レンズ系14の上側磁極15および下側磁極16の少なくとも一方の磁極片17,18にX線検出器25の検出部26が嵌入する切欠き部30を設け、その切欠き部30は電子線軸12を中心とした対称位置に、切欠き部30と同一の4個を等角度の間隔で設け、さらに、上側磁極15および下側磁極16の切欠き部30以外の部分に、電子線軸12に対称に肉盛り部31を設けるように構成する。

請求項（抜粋）：

電子線(12)を発生する電子源(11)と、該電子線(12)を投影する集束レンズ系(13)と、截頭円錐面を有する上側磁極(15)と下側磁極(16)とを持つ対物レンズ系(14)と、前記対物レンズ系(14)の前記上側磁極(15)と下側磁極(16)との間に配置された試料(21)を含む試料室(22)を有する鏡筒(20)と、前記上側磁極(15)と下側磁極(16)との磁極間隙内に配置され前記試料(21)を保持する試料保持装置(23)と、前記鏡筒(20)側面から試料室(22)内に進入し前記試料(21)から発生するX線を検出するX線検出器(25)とを有する分析電子顕微鏡(10)において、前記試料保持装置(23)の保持軸(24)を中心とした対称位置に、第2のX線検出器(25)を配置したことを特徴とする分析電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/244 , H01J 37/141 , H01J 37/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭52-104865
特開平3-246862
特開昭47-028859

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