特許

J-GLOBAL ID：200903031598370980

除振装置およびそれを有する半導体製造装置

発明者： 加藤 宏昭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-176795
公開番号（公開出願番号）：特開2002-364702
出願日： 2001年06月12日
公開日（公表日）： 2002年12月18日
要約：

【要約】【課題】 外乱を除去して各空気ばねの特性的なばらつきを排除した除振装置を提供する。【解決手段】 空気ばね2と、この空気ばねの圧力を制御するサーボバルブ3と、前記空気ばねの圧力を検出する圧力センサ4と、前記空気ばねに支持される除振台1と、この除振台の変位を検出する変位センサ6とを有し、前記除振台の変位と振動を抑制する除振装置であって、前記サーボバルブへの入力信号uと前記圧力センサの検出信号pと前記変位センサの検出信号xとから前記空気ばねに加わる外乱を推定して、該外乱を抑制するように前記サーボバルブを制御する。

請求項（抜粋）：

空気ばねと、前記空気ばねの圧力を制御するサーボバルブと、前記空気ばねの圧力を検出する圧力センサと、前記空気ばねに支持される除振台と、前記除振台の変位を検出する変位センサとを有し、前記除振台の変位と振動を抑制する除振装置において、前記サーボバルブへの入力信号と前記圧力センサの検出信号と前記変位センサの検出信号とから前記空気ばねに加わる外乱を推定して、該外乱を抑制するように前記サーボバルブを制御することを特徴とする除振装置。

IPC (4件)：

F16F 15/02 ,  F16F 9/04 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

F16F 15/02 A ,  F16F 9/04 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (17件)：

3J048AA06 ,  3J048AB08 ,  3J048AB12 ,  3J048BE02 ,  3J048CB13 ,  3J048CB19 ,  3J048DA01 ,  3J048EA07 ,  3J048EA13 ,  3J069AA21 ,  3J069AA32 ,  3J069EE63 ,  5F046AA23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11