照明光学装置および露光装置ならびに露光方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-168944
公開番号（公開出願番号）：特開平8-330225
出願日： 1988年04月11日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：

【要約】【課題】簡単な制御でスペックルを低減できる露光装置を提供する。【解決手段】第1オプチカル・インテグレータ3と第2オプチカル・インテグレータ5とを有する露光装置において、第2オプチカル・インテグレータ5は2次元的に配列された複数の光学エレメントで構成され、該複数の光学エレメントのうち特定の1方向に並んだ光学エレメントの個数をn(nは整数)、回路パターンの像を感光基板上に露光するのに必要な最小パルス数をn以上のNとしたとき、第2オプチカル・インテグレータ5に入射する前記複数の光束を前記パルス数Nの照射の間に半周期以上揺動させる光学部材を第1オプチカル・インテグレータ3と第2オプチカル・インテグレータ5との間に設けている。

請求項（抜粋）：

回路パターンが形成されたレチクルをパルス光で照明するための光源装置と、該光源装置からのパルス光を入射して2次元に分布する複数の点光源を生成する第1オプチカル・インテグレータと、該第1オプチカル・インテグレータから射出したパルス光を入射して2次元に分布する複数の点光源を生成する第2オプチカル・インテグレータと、該第2オプチカル・インテグレータにより生成された複数の点光源の各々からの光をパルス照明光として前記レチクル上に重畳照射する集光光学系とを有し、前記照明されたレチクルの回路パターンの像を感光基板上に投影する露光装置において、前記第2オプチカル・インテグレータは2次元的に配列された複数の光学エレメントで構成され、該複数の光学エレメントのうち特定の1方向に並んだ光学エレメントの個数をn(nは整数)、前記の回路パターンの像を感光基板上に露光するのに必要な前記光源装置からのパルス光の最小パルス数をn以上のNとしたとき、前記第2オプチカル・インテグレータに入射する前記複数の光束を前記パルス数Nの照射の間に半周期以上揺動させる光学部材を前記第1オプチカル・インテグレータと前記第2オプチカル・インテグレータとの間に設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01S 3/098 , H01S 3/101

FI (6件)：

H01L 21/30 527 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01S 3/098 , H01S 3/101 , H01L 21/30 515 D

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