特許
J-GLOBAL ID：200903031611175327
測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-223815
公開番号（公開出願番号）：特開2008-046060
出願日： 2006年08月21日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：
【課題】高精度な測定および高効率な測定の双方を行い得る測定装置を提供する。【解決手段】制御部16が、回路基板100の素子に接触している一対のプローブにおける接触端子31aと導線13a,13bとを接続させ、接触端子31bと導線13c,13dとを接続させ、電圧検出部12と導線13c,13dとを接続させる第1接続処理、およびプローブ21f,21gの接触端子31bと導線13cとを接続させることによって素子101c,101dを直列接続させ、プローブ21e,21hの接触端子31aと導線13a,13bとを接続させ、電圧検出部12と導線13a,13bとを接続させる第2接続処理を実行すると共に、第1接続処理後に1つの素子についての電気的パラメータを4端子法によって測定し、第2接続処理後に素子101c,101dについての電気的パラメータを2端子法によって測定する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
接触端子を介して測定対象体の被接触部に出力される測定用信号を生成する電源部と、前記測定用信号の出力によって前記被接触部に生じる電圧を前記接触端子を介して入力して検出する電圧検出部と、前記電源部における一対の出力端子にそれぞれ接続されて前記測定用信号が供給される一対の第1導電体と、前記電圧検出部における一対の入力端子にそれぞれ接続可能な一対の第2導電体と、前記接触端子と前記各導電体との接続を切り替える第1切り替え部と、前記各導電体と前記電圧検出部の前記各入力端子との接続を切り替える第2切り替え部と、前記両切り替え部を制御する制御部と、前記測定対象体についての電気的パラメータを前記電圧に基づいて測定する測定部とを備えた測定装置であって、
前記制御部は、前記両切り替え部を制御することにより、2つの前記接触端子を対にした接触端子対が1つの前記測定対象体における一対の前記被接触部にそれぞれ接触している状態において当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第1導電体とをそれぞれ接続させかつ当該各々における他方の前記各接触端子と前記一対の第2導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第2導電体とをそれぞれ接続させる第1接続処理、および前記接触端子対が複数の前記測定対象体における前記各被接触部にそれぞれ接触している状態において前記各接触端子対のうちの2つを除く当該各接触端子対の各々における一方の前記各接触端子と前記一対の第2導電体のいずれかとをそれぞれ接続させることによって当該各測定対象体を直列接続させかつ当該直列接続された各測定対象体の両端に位置する各被接触部にそれぞれ接触している前記2つの接触端子対の各々におけるいずれか一方の前記各接触端子と前記一対の第1導電体とをそれぞれ接続させると共に前記電圧検出部の前記一対の入力端子と当該一対の第1導電体とをそれぞれ接続させる第2接続処理を実行可能に構成され、
前記測定部は、前記第1接続処理後において前記1つの測定対象体についての前記電気的パラメータを4端子法によって測定すると共に、前記第2接続処理後において前記直列接続された複数の測定対象体についての前記電気的パラメータを2端子法によって測定する測定装置。
IPC (3件)：
G01R 27/02
, G01R 31/02
, H05K 3/00
G01R27/02 R
, G01R31/02
, H05K3/00 T
2G014AA02
, 2G014AA03
, 2G014AA13
, 2G014AB52
, 2G014AB59
, 2G014AC09
, 2G014AC18
, 2G028AA02
, 2G028BB20
, 2G028CG02
, 2G028DH03
, 2G028GL07
, 2G028HN07
, 2G028HN09
, 2G028HN11
, 2G028HN13
, 2G028LR05
