特許
J-GLOBAL ID：200903031621613586
交互吸着膜の製造方法および製造装置ならびに交互吸着膜を有する構造体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志村 浩
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999004432
公開番号（公開出願番号）：WO2000-013806
出願日： 1999年08月18日
公開日（公表日）： 2000年03月16日
要約：
【要約】正の荷電粒子を含む溶液を収容するための第1の槽(100)と、負の荷電粒子を含む溶液を収容するための第2の槽(200)と、被成膜材料(10)を保持するロボットアーム(30)とを用意する。ロボットアーム(30)には、固有発振周波数を有する水晶振動子(20)を取り付ける。ロボットアーム駆動部(40)は、機械的駆動手段により、ロボットアーム(30)を破線で示す経路に沿って移動させる。成膜制御部(60)は、ロボットアーム(30)が第1の槽(100)内に浸された状態と第2の槽(200)内に浸された状態とを交互にとるように駆動する。水晶振動子(20)の発振周波数は周波数検出部(50)で検出される。成膜制御部(60)は、この検出周波数fの変化量に基いて、各槽内で形成された薄膜の厚みを認識し、各槽に対する出し入れのタイミングを決定する。これにより、正確な膜厚制御を行う。
請求項（抜粋）：
正の荷電粒子を含む溶液と負の荷電粒子を含む溶液とに被成膜材料(10)を交互に複数回浸すことにより、多層構造を有する交互吸着膜を製造する方法において、 各溶液に被成膜材料(10)を出し入れする際に、水晶振動子(20)を同時に出し入れするようにし、溶液に入れた時点を基準にしたときの前記水晶振動子の発振周波数の変化量Δfが所定の基準値frefに到達した時点、または発振周波数の変化速度vが所定の基準値vrefに到達した時点で溶液から出すようにすることを特徴とする交互吸着膜の製造方法。
IPC (4件)：
B05D 1/18
, B05C 3/09
, B32B 7/00
, B32B 31/00
B05D 1/18
, B05C 3/09
, B32B 7/00
, B32B 31/00
