特許

J-GLOBAL ID：200903031622273002

表面評価装置

発明者： 片岡 俊彦 ,  和田 勝男
出願人/特許権者： 片岡 俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-328947
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163239
出願日： 2002年11月13日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：

【課題】試料表面からの散乱光のみを検出させて、試料表面をより高精度で信頼性高く評価する。【解決手段】試料3表面にレーザ光1を斜め上方より照射させ、発生した散乱光を、試料3表面の法線方向かつ対向する位置のCCD5で検出させる表面評価装置であって、試料3表面とCCD5との間の光路に、内径が試料とほぼ同径か僅かに大の無光沢加工黒色筒体と、該筒体下端に、両側を上方に折り曲げ、中央に孔を穿った、長方形の無光沢加工黒板を配設した迷光遮断装置14を配置して、CCD5への迷光を効果的に遮断し、試料表面からの散乱光のみを、CCD5に検出させて、試料表面を、より高精度で信頼性高く評価する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

試料表面に、照射光を斜め上方より照射させる光照射手段と、試料表面に対して法線方向かつ対向する位置に配置された、発生させた散乱光を結像させる結像レンズ及び結像させた散乱光を電気信号に変換させるCCDからなる散乱光検出手段と、該CCDからの電気信号を記録させる記録手段とを有する表面評価装置において、迷光遮断装置が、試料表面とCCDとの間に配置されてなることを特徴とする表面評価装置。

IPC (2件)：

G01B11/30 ,  G01N21/956

FI (2件)：

G01B11/30 Z ,  G01N21/956 A

Fターム (33件)：

2F065AA49 ,  2F065BB01 ,  2F065BB08 ,  2F065CC17 ,  2F065DD12 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL13 ,  2F065LL24 ,  2F065LL35 ,  2F065LL62 ,  2F065QQ25 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB07 ,  2G051BA04 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BB05 ,  2G051BB07 ,  2G051BB09 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC07 ,  2G051CC09 ,  2G051CC20 ,  2G051DA05