基板支持部材、ならびにそれを用いた基板保持機構、基板搬送装置、基板搬送方法、基板処理装置および基板処理方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川崎実夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-118578
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313874
出願日： 2001年04月17日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】基板の汚染を防止することができ、かつ、基板を安定に保持することができる基板支持部材、ならびにそれを用いた基板保持機構、基板搬送装置、基板搬送方法、基板処理装置および基板処理方法を提供する。【解決手段】ウエハを搬送するための搬送ロボットには、ウエハを保持するハンドが備えられている。このハンドの上面に、ウエハ支持部材81〜84,91〜94が固定されている。ウエハ支持部材81〜84,91〜94は、ウエハの周縁部に下方から接触するウエハ接触部860と、このウエハ接触部860から斜め上方に立ち上がり、ウエハの水平移動を規制するテーパ面865とを有している。ウエハ接触部860は、一対の傾斜面861,862の出会うところに稜線部863に形成した構成となっている。稜線部863は、ウエハの内方に向かうに従って下方に傾斜していて、ウエハの周縁部の点接触する。

請求項（抜粋）：

基板の周縁部に接触して基板を下方から支持する基板支持部材であって、基板の周縁部に接触する基板接触部が、基板の内方に向かうに従って下方に傾斜し、基板の周縁部に点接触する稜線部を有することを特徴とする基板支持部材。

IPC (5件)：

H01L 21/68 , B25J 15/08 , B65G 49/06 , B65G 49/07 , H01L 21/304 648

FI (6件)：

H01L 21/68 A , H01L 21/68 N , B25J 15/08 Z , B65G 49/06 Z , B65G 49/07 E , H01L 21/304 648 A

Fターム (37件)：

3C007AS01 , 3C007AS24 , 3C007BS15 , 3C007BT11 , 3C007DS01 , 3C007ES05 , 3C007ES06 , 3C007ES17 , 3C007EV07 , 3C007EV27 , 3C007EW16 , 3C007NS09 , 3C007NS13 , 5F031CA01 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031FA01 , 5F031FA07 , 5F031FA14 , 5F031GA06 , 5F031GA38 , 5F031GA43 , 5F031GA47 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031HA08 , 5F031HA24 , 5F031HA26 , 5F031HA48 , 5F031HA59 , 5F031KA03 , 5F031KA11 , 5F031MA04 , 5F031MA23 , 5F031MA24 , 5F031PA23 , 5F031PA25

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