特許
J-GLOBAL ID：200903031633297264
加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-311083
公開番号（公開出願番号）：特開2001-133476
出願日： 1999年11月01日
公開日（公表日）： 2001年05月18日
要約：
【要約】【課題】 一定加速度の領域から振動などの変動する領域の加速度までを検出する。【解決手段】 2層の圧電体11a、11bそれぞれの表面と中間部に電極14、15、16を有する梁11の基端部をベース部材12に固定し、先端部に錘13を固定する。2層の圧電体11a、11bは、それぞれの電極に交流電圧Vを印加することにより、片持ち梁の横振動を発生する。この時の梁の共振周波数fは、梁に働く軸力Pによって変化することが分かっている。従って、この梁に軸方向に加速度が加わると、質量Mの錘13の貫性力によって梁11に作用する軸力Pが変化するので、その時の梁11の共振周波数fが分かれば、梁11に作用する軸力Pが分かり、加速度の大きさを検出できる。
請求項（抜粋）：
2層の圧電体で構成されて前記2層の圧電体それぞれの表面と前記2層の圧電体間に電極を有する梁と、前記梁の基端部を固定するベース部材と、前記梁の先端部に固定された錘とを備えた加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/10
, H01L 41/08 Z
