特許
J-GLOBAL ID：200903031633599198
回転軸振れ補正制御装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019133
公開番号（公開出願番号）：特開平6-235422
出願日： 1993年02月08日
公開日（公表日）： 1994年08月23日
要約：
【要約】【目的】 高速回転をする回転軸の軸芯振れを、基準リングの形状と関わりなく、高精度でリアルタイムに計測し、高速で軸芯振れを小さく抑え、回転運動精度を高めることのできる回転軸振れ補正制御装置を提供する。【構成】 回転軸14の一端に軸心を一致させて装着された基準リング14と、基準リング14の円周上に1列に配置された3本の近接センサ16と、この近接センサ16の測定データにより3点法に基づいて回転軸14の軸芯振れ軌跡を逐次測定し、この測定データをピエゾアクチュエータの取付け方向成分データに分離し、このデータに基づいてピエゾアクチュエータを制御するコントローラ18を設ける。【効果】 3点法によりリアルタイムで求められた軸芯振れ軌跡に応じて空気軸受1の軸受隙間が制御されることにより、高速回転する回転軸4の軸芯振れを小さく抑えることがてき、極めて高精度な回転運動機構を実現できる。
請求項（抜粋）：
複数のピエゾアクチュエータの伸縮により回転軸との軸受隙間を変化させる空気軸受における回転軸振れ補正制御装置であって、前記回転軸の一端に軸心を一致させて装着された基準リングと、この基準リングの円筒面の円周上に1列に配置された3本の近接センサと、この近接センサにより測定される変位データにより3点法に基づいて前記回転軸の軸芯振れ軌跡を逐次測定し、この測定データを前記ピエゾアクチュエータの取付け方向成分データに分離し、前記取付け方向成分データに基づいて前記ピエゾアクチュエータを駆動する制御手段を設けたことを特徴とする回転軸振れ補正制御装置。
IPC (2件)：
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