レジスト吐出システムとレジスト吐出方法

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：大西健治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083898
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026377
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】レジスト吐出システムの吐出量と吐出状態の両方を適性化にする。【解決手段】 3か所に設けられたモータ駆動部33,62,72は、速度制御やタイミング制御が容易なパルスモータまたはサーボモータで構成されている。モータ駆動部33の駆動によってレジストポンプ30を動作させ、レジスト20をガロンビン21から吸収してから、レジスト20の圧送を開始させる。次に、モータ駆動部72を駆動してオペレートバルブ60を開いてノズル80からのレジスト20の吐出を開始させる。吐出したレジスト20がウエハ91に供給される。レジスト20の供給を終了する場合には、オペレートバルブ60を開じてからレジストポンプ30を停止させる。レジスト20の供給を終了した段階で、モータ駆動部72を駆動してサックバックバルブ70を閉状態から開状態にする。これにより、ノズル80の先端のレジスト20が適当量引戻される。

請求項（抜粋）：

ノズルを有し、該ノズルから半導体ウエハの表面にレジストを吐出するレジスト吐出システムにおいて、前記レジストを貯蔵する容器と、第1の制御信号で設定されたタイミングで駆動される第1のモータを有し、該第1のモータの駆動によって前記容器中のレジストを所定量吸収し、該吸収したレジストを圧送するレジストポンプと、前記レジストポンプから前記ノズルへ至るレジストの流路に設けられたオペレートバルブであって、第2の制御信号で設定されたタイミングで駆動される第2のモータを有し、該第2のモータの駆動によって、前記レジストの流路における前記レジストの遮断と開放とを行う前記オペレートバルブと、前記レジストの流路に設けられたサックバックバルブであって、第3の制御信号で設定されたタイミングで駆動される第3のモータを有し、前記レジストの吐出が終了した後に該第3のモータの駆動により、該ノズルの先端のレジストを適当量引き戻す前記サックバックバルブと、前記第1の制御信号、第2の制御信号及び第3の制御信号を発生して前記レジストポンプと前記オペレートバルブと前記サックバックバルブとに対する同期制御を行い、前記レジストの吐出状態を制御する制御部とを、備えたことを特徴とするレジスト吐出システム。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03F 7/16 502 , B05C 5/00 101 , B05C 11/10

FI (5件)：

H01L 21/30 564 C , G03F 7/16 502 , B05C 5/00 101 , B05C 11/10 , H01L 21/30 564 D

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開昭63-163077
特開平2-156627
処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-139363 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン九州株式会社

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