特許

J-GLOBAL ID：200903031639414513

感光性樹脂版の製造方法及び装置

発明者： 川辻 真一 ,  渡辺 光広
出願人/特許権者： 旭化成工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-246642
公開番号（公開出願番号）：特開平11-084633
出願日： 1997年09月11日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：

【要約】【課題】 液状感光性樹脂版の製版において、高い版厚精度の厚手大型版を安定的に得る。【解決手段】 液状感光性樹脂を用い、透明基板を通して露光する工程を有する液状感光性樹脂版の製造方法において、樹脂面側が凹形状の硬質透明基板を用いる。

請求項（抜粋）：

液状感光性樹脂を用い、透明基板を通して露光する工程を有する液状感光性樹脂版の製造方法において、樹脂面側が凹形状の硬質透明基板を用いることを特徴とする液状感光性樹脂版の製造方法。

IPC (2件)：

G03F 7/00 502 ,  G03F 7/09 501

FI (2件)：

G03F 7/00 502 ,  G03F 7/09 501