積層体の欠陥検査方法及び検査装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：的場基憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-404673
公開番号（公開出願番号）：特開2005-164428
出願日： 2003年12月03日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】積層体の材質に左右されることなく、積層体の欠陥を非破壊・非接触で検出しることができ、例えば固体酸化物形燃料電池の劣化診断や、製造時の工程検査などに利用することができる積層体の欠陥検査方法及び欠陥検査装置を提供する。【解決手段】下部赤外線ランプ11及び上部赤外線ランプ12によって被検査体1を裏面側及び表面側からそれぞれ加熱したときの被検査体表面の熱放射分布を赤外線カメラ20によって検出し、裏面側加熱と裏面側加熱の場合の熱放射分布の経時変化データをデータ処理手段30によって比較し、両データの差又は比に基づいて層間剥離Pを特定する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

積層構造を有する被検査体を表面又は裏面側から加熱又は冷却し、加熱又は冷却時における被検査体表面の温度分布変化を検出して、被検査体の層間剥離の有無を判定することを特徴とする積層体の欠陥検査方法。

IPC (2件)：

G01N25/72 , G01J5/48

FI (2件)：

G01N25/72 K , G01J5/48 A

Fターム (13件)：

2G040AA07 , 2G040AB08 , 2G040BA26 , 2G040CA02 , 2G040DA06 , 2G040EA06 , 2G040EB02 , 2G040HA02 , 2G040HA05 , 2G040HA08 , 2G066AC20 , 2G066BC15 , 2G066CA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

セラミックシートの貫通孔検査方法および該方法で検査されたセラミックシート
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-278503 出願人：株式会社日本触媒
セラミックス管の検査方法,その装置及び検査システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-165372 出願人：株式会社日立製作所
過渡サーモグラフィによるプロセス制御
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-530780 出願人：フィリップ・モーリス・プロダクツ・インコーポレイテッド

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