特許

J-GLOBAL ID：200903031647827843

ダイシングラインの位置決め方法

発明者： 有馬 尊久
出願人/特許権者： 日本板硝子株式会社
代理人 (1件)： 岩佐 義幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-222125
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053031
出願日： 1999年08月05日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】 ダイサーブレード摩耗を原因とする、ダイボンド時の位置決め精度の低下がおこらないようにするダイシングラインの位置決め方法を提供する。【解決手段】 チップ10の左側エッジ12および下側エッジ14を基準にダイシングする。細線16は、新しいブレードでダイシングした場合のチップのエッジ位置を、太線18は、摩耗したブレードでダイシングした場合のチップのエッジ位置を示す。このようにダイシングされたチップ10をダイボンドする際には、チップの左側エッジ12および下側エッジ14が一定の位置に来るようにダイボンダーのプッシャーでチップ10を位置決めする。

請求項（抜粋）：

ダイボンダーにて実装されるチップを半導体基板からダイシングする場合のダイシングラインの位置決め方法において、ダイボンド時の位置決め方法に応じてダイシング時のダイシング位置の基準を変えることを特徴とするダイシングラインの位置決め方法。