特許

J-GLOBAL ID：200903031651079797

カンチレバー

発明者： 高橋 一
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-117326
公開番号（公開出願番号）：特開平8-313545
出願日： 1995年05月16日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：

【要約】【目的】 この発明の目的は、所定の振動モードにおける共振周波数を高いSN比で抽出でき、良好な周波数同定が可能なカンチレバーを提供することにある。【構成】 カンチレバー11は、その先端部11aの外側に第1の切り欠き13、14を有し、先端部11aのV字形の内側に第2の切り欠き16を有する。また、カンチレバー11は、その先端部11a近くに矩形の第1孔15を有し、その2つの基端部11b近くに6角形の第2孔17、18を有する。これにより、カンチレバー11の2次および3次の各振動モードにおける共振周波数を互いに十分に離すことができ、SN比の高い信号抽出が可能となる。

請求項（抜粋）：

一対の固定端と、探針が取り付けられた自由端と、を有する略V字形に形成され、原子間力顕微鏡に用いられるACモード用のカンチレバーにおいて、所定の次数の振動モードにおける共振周波数を隣接した他の次数の振動モードにおける共振周波数から離間させる切り欠きおよび孔の少なくとも一方を有することを特徴とするカンチレバー。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28

FI (3件)：

G01N 37/00 F ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z