特許

J-GLOBAL ID：200903031661148045

精密基板収納容器

発明者： 鈴木 勤
出願人/特許権者： 信越ポリマー株式会社
代理人 (1件)： 神田 正義 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211350
公開番号（公開出願番号）：特開2000-043976
出願日： 1998年07月27日
公開日（公表日）： 2000年02月15日
要約：

【要約】【課題】 収納、保管中の精密基板を有機物汚染から有効に保護し、精密基板の清浄度を長期にわたり維持できる精密基板収納容器を提供する。【解決手段】 収納容器1を、半導体ウェーハを整列収納する合成樹脂製の容器本体2と、容器本体2の開口部をガスケット3を介しシール可能に被覆する合成樹脂製の蓋体4とから構成する。蓋体4内の押さえ部材14に光触媒層19を着脱自在に挟持させる。そして、蓋体4を透明にして収納容器1の外部上方から光触媒層19に紫外線を導く透過領域20を設ける。光触媒層19が有機物を有効に分解するので、半導体ウェーハに付着する有機成分が低減する。したがって、半導体ウェーハの汚染を有効に防止し、清浄度の高い空間を確保できる。

請求項（抜粋）：

収納容器に精密基板を収納する精密基板収納容器であって、該収納容器の内側に設けられる光触媒層と、該収納容器に設けられ、この収納容器の外部から該光触媒層に紫外線を導く透過領域とを含んでなることを特徴とする精密基板収納容器。

IPC (2件)：

B65D 85/86 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

B65D 85/38 R ,  H01L 21/68 T

Fターム (25件)：

3E096AA06 ,  3E096BA16 ,  3E096BB04 ,  3E096CA01 ,  3E096CB03 ,  3E096CC02 ,  3E096DA17 ,  3E096DA18 ,  3E096DA25 ,  3E096DA26 ,  3E096DB01 ,  3E096DC01 ,  3E096EA02X ,  3E096EA04Y ,  3E096FA08 ,  3E096GA20 ,  5F031AA02 ,  5F031BB01 ,  5F031BB04 ,  5F031BC01 ,  5F031BC03 ,  5F031BC04 ,  5F031BC10 ,  5F031LL09 ,  5F031LL10