特許
J-GLOBAL ID：200903031666431012
ウエハ-の仮着用接着剤
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 清子 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-339910
公開番号（公開出願番号）：特開平9-157628
出願日： 1995年12月05日
公開日（公表日）： 1997年06月17日
要約：
【要約】【課題】 シリコーンウエハーなどのウエハーは、ポリッシング加工等の処理するときにプレート上に仮着して行うが、この仮着用の接着剤を一層安全で使用し易いものとする。【解決手段】 ロジン樹脂、ロジン樹脂の誘導体、ロジン樹脂の変成物、スチレン・アクリル共重合体の一種または二種以上を混合し、アルカリ水溶液に溶解して仮着用接着剤とする。上記各樹脂は、その酸価が100以上のものである。また、アルカリ水溶液は、そのpHが7.5 〜14の範囲にある。この仮着用接着剤をウエハーにスピンコートにより塗布し、ホットプレートによって加温すると、溶媒の水は揮散され均一な厚さの接着剤の塗膜が得られてウエハーを精度よく仮着でき、加工処理が容易である。加工処理後、この仮着用接着剤は、水洗浄またはアルカリ水溶液洗浄によって緩徐な条件で確実に除去、洗浄できる。
請求項（抜粋）：
ウエハ-を加工処理する際に一時的に仮着しておくために使用する接着剤であって、ロジンその他のアビエチン酸に代表される三員環化合物を主成分とする樹脂、該樹脂の誘導体若しくは該樹脂の二塩基酸との変性物、又はスチレン・アクリル酸共重合体であり、いづれも酸価100以上の物の一種又は二種以上を混合し、その含有量が1〜50%になるようにpH7.5〜14のアルカリ水溶液に溶解した水溶液タイプのウエハ-の仮着用接着剤。
IPC (4件)：
C09J193/04 JAK
, C09J125/08 JCN
, H01L 21/304 321
, H01L 21/68
C09J193/04 JAK
, C09J125/08 JCN
, H01L 21/304 321 H
, H01L 21/68 N
