磁気記録媒体の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-244989
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062186
出願日： 1991年08月30日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：

【要約】【目的】磁性層の膜厚及び磁気特性のバラツキをなくすとともに、生産性に優れた磁気記録媒体の製造方法を提供する。【構成】非磁性支持体2上に磁性薄膜を形成するための真空蒸着を行うに際し、蒸発源9を収納してなるルツボ8の周囲にヒーター12を配設し、前記蒸発源9を従来より使用されている電子銃10で加熱するとともに、上記ヒーター12でも補助的に加熱する。また、上記ルツボ8を蒸発せしめられた蒸発源8を飛散させる部分のみに開口部を有してなる遮蔽体とする。更に、上記開口部により上記蒸発せしめられた蒸発源の比磁性支持体2に対する最低入射角を規制する。【効果】電子銃から放出される電子線のしぼり状態が劣化されることなく、高い蒸着レートを実現することができる。また、蒸発されてなる磁性材料のルツボの壁面等への付着を防止し、磁性材料の歩留りを向上させることができる。

請求項（抜粋）：

非磁性支持体上に真空蒸着により磁性薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において、蒸発源を電子銃で加熱するとともに、当該蒸発源近傍に配設されたヒーターにより加熱することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

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