特許
J-GLOBAL ID：200903031688366737
異物修正装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-281766
公開番号（公開出願番号）：特開平8-141902
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：
【要約】【目的】 研磨ヘッドを圧電素子で揺動させ、効率的に異物を修正することを目的とする。【構成】 カラーフィルタ1をXY方向に移動可能なXYテーブル3の上に配置して研磨ヘッド5をバイモルフ圧電素子12a,12bによって揺動させ、研磨テープ14により異物を研磨して除去する。
請求項（抜粋）：
被加工物の表面の異物を研磨して除去するための異物修正装置であって、前記被加工物をXY方向に移動可能なXYテーブル、その先端に研磨部材が取付けられた研磨ヘッド、前記研磨ヘッドに取付けられ、前記研磨部材を前記XY方向のいずれか一方に揺動させるための圧電素子、および前記研磨ヘッドをZ方向に移動可能なZテーブルを備えた、異物修正装置。
IPC (4件)：
B24B 21/00
, B24B 7/24
, B24B 21/06
, B24B 47/00
