特許
J-GLOBAL ID：200903031689535737
基板収納用カセット
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-012579
公開番号（公開出願番号）：特開平7-221169
出願日： 1994年02月04日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 基板収納用カセットを構成する部品点数を削減し、安価に製造することのできる基板収納用カセットを得る。【構成】 カセット本体1の側壁に一定間隔にウエハ3が収納される溝2が形成され、このウエハ3の収納された溝2と平行となるようにカセット本体1の側壁内部に情報カード収納溝7が形成され、この情報カード収納溝7内に情報カード6の両端部が挿入され、カセット本体1内に保持される。【効果】 情報カード6を保持するための保持具を必要としないので、基板収納用カセットを構成する部品点数を削減できる。
請求項（抜粋）：
基板が内部に収納されるカセット本体に、上記基板の製造工程が記録された情報カードが着脱自在に保持される基板収納用カセットにおいて、上記情報カードの縁部が上記カセット本体の側壁内部に形成された溝により挟持されることによって保持されることを特徴とする基板収納用カセット。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65D 25/20
, B65D 85/86
