マイクロミラー装置及び光ディスク装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-297297
公開番号（公開出願番号）：特開2001-117026
出願日： 1999年10月19日
公開日（公表日）： 2001年04月27日
要約：

【要約】【課題】ヒンジ部を介して固定部に連結された可動部が、ヒンジ部を軸として回動操作されるマイクロミラー装置において、ヒンジ部の捩り剛性をさほど変化させずに、ヒンジ部の曲げ剛性のみを高めることにより、サーボ帯域を広域化する。【解決手段】ヒンジ部14の少なくとも一部に、その厚み方向に突出する突部14bを形成する。これにより、ヒンジ部14の曲げ剛性が大幅に高められ、サーボ帯域が広域化する。

請求項（抜粋）：

固定部と、ヒンジ部を介して上記固定部に連結された可動部と、この可動部に形成された反射面とを備え、上記ヒンジ部の捩り変形により上記可動部が上記ヒンジ部を軸として回動操作されるマイクロミラー装置において、上記ヒンジ部の少なくとも一部に、その厚み方向に突出する突部が形成されていることを特徴とするマイクロミラー装置。

IPC (3件)：

G02B 26/08 , G11B 7/09 , G11B 7/135

FI (3件)：

G02B 26/08 E , G11B 7/09 E , G11B 7/135 A

Fターム (19件)：

2H041AA12 , 2H041AB14 , 2H041AC06 , 2H041AZ02 , 2H041AZ08 , 5D118AA13 , 5D118BA01 , 5D118DC07 , 5D118EA19 , 5D118EF07 , 5D118FA16 , 5D118FB13 , 5D118FB19 , 5D119AA08 , 5D119AA24 , 5D119CA06 , 5D119JA52 , 5D119JC05 , 5D119MA05

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