特許

J-GLOBAL ID：200903031708885868

探針走査形顕微鏡用探針部品

発明者： 大矢 彰 ,  南光 智昭
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-220258
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066510
出願日： 1992年08月19日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 先端半径が0.1μm以下の先鋭な探針走査形顕微鏡用探針部品を実現する。【構成】 表面が平坦なセラミックなどの基板に接着剤を塗布し、厚さが数μm以下の薄い金属箔3aを平坦に重ね、これにフォトレジストを塗布し、所望のパターンを複数個露光し、現像することにより所望のマスキング層を形成し、これをエッチングして、金属箔3aを所望の形状に複数個加工し、金属製のブロックを金属箔に固着した後、有機溶剤によりセラミック基板と金属箔3aの間の接着剤を溶融し剥離して作製した探針走査型顕微鏡用探針部品において、この探針部品は、接着剤溶融後、探針先端を電解研磨により先鋭化したことを特徴とする。また、探針部品の先端部分にFIBを用いて白金を取付けることにより針先となる突起を形成したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

表面が平坦なセラミックなどの基板に接着剤を塗布し、厚さが数μm以下の薄い金属箔を平坦に重ね、これにフォトレジストを塗布し、所望のパターンを複数個露光し、現像することにより所望のマスキング層を形成し、これをエッチングして、前記金属箔を所望の形状に複数個加工し、金属製のブロックを前記金属箔に固着した後、有機溶剤により前記セラミック基板と金属箔の間の前記接着剤を溶融し剥離して作製した探針走査型顕微鏡用探針部品において、この探針部品は、前記接着剤溶融後、探針先端を電解研磨により先鋭化したことを特徴とする探針走査型顕微鏡用探針部品。

IPC (5件)：

G01B 7/34 ,  C23F 1/00 ,  C25F 3/16 ,  G03F 7/26 ,  H01J 37/28