特許

J-GLOBAL ID：200903031717602950

超高純度水の製造システム及びその製造方法

発明者： 川村 泰三 ,  内堀 義隆
出願人/特許権者： 株式会社瀬田技研 ,  オムロン株式会社
代理人 (1件)： 梶 良之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-349377
公開番号（公開出願番号）：特開平9-168797
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：

【要約】【課題】 メンテナンスが容易で、超高純度水を効率よく製造できる、コンパクトな超高純度水の製造システムを提供する。【解決手段】 水の通路内に電磁誘導で加熱される発熱体を有し、水を加熱して蒸気が混じった気液状態にする加熱装置101と、加熱装置101に供給する前記水を貯留し、加熱装置101からの気液を受け入れて蒸気を排出し、水に含まれる雑物を濃縮して分離するための分離装置102と、分離装置102から排出される蒸気を伝熱媒体により水に凝縮する凝縮器103と、この凝縮された水に含有するイオン等の不純物を除去するイオン交換器104とを備え、特に電磁誘導加熱手段を用いる加熱装置101で夾雑物と区分した蒸発を可能にしたものである。また、凝縮器103の接液部を非電解物質にすると、イオン交換器104を省くことが出来る。

請求項（抜粋）：

水の通路内に電磁誘導で加熱される発熱体を有し、水を加熱して蒸気が混じった気液状態にする加熱装置と、前記加熱装置に供給する前記水を貯留し、前記加熱装置からの気液を受け入れて蒸気を排出し、水に含まれる雑物を濃縮して分離するための分離装置と、前記分離装置から排出される蒸気を伝熱媒体により水に凝縮する凝縮器と、この凝縮された水に含有するイオン等の雑物を除去するイオン交換器とを備えることを特徴とする超高純度水の製造システム。

IPC (7件)：

C02F 9/00 503 ,  C02F 9/00 502 ,  C02F 9/00 ,  C02F 9/00 504 ,  C02F 1/04 ,  C02F 1/42 ,  F22B 1/28

FI (7件)：

C02F 9/00 503 B ,  C02F 9/00 502 B ,  C02F 9/00 502 J ,  C02F 9/00 504 B ,  C02F 1/04 G ,  C02F 1/42 A ,  F22B 1/28 Z