特許

J-GLOBAL ID：200903031720573502

光電式センサ及びウエハ検出装置

発明者： 加藤 克彦 ,  岡田 光
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267608
公開番号（公開出願番号）：特開平10-116878
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成でウエハなど検出対象物の有無を正確に検出すること。【解決手段】 光電式センサ10は、検出対象物13に向けて光を出射する複数の投光部11A、12Aと、検出対象物13により反射した反射光を入射し、入射光量に応じた電気信号を出力する複数の受光部11B、12Bとを備える。

請求項（抜粋）：

検出対象物に向けて光を出射する複数の投光部と、前記検出対象物により反射した反射光を入射し、入射光量に応じた電気信号を出力する複数の受光部とを備えることを特徴とする光電式センサ。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  G01J 1/02 ,  G01V 8/20

FI (3件)：

H01L 21/68 L ,  G01J 1/02 P ,  G01V 9/04 P