特許

J-GLOBAL ID：200903031722481451

形状測定方法及びその装置

発明者： 清水 敬司
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 浜本 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-033355
公開番号（公開出願番号）：特開平8-226814
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】 高速な測定を実現しながら、複数の被測定面形状がより正確に相対比較でき、また装置全体を安価にすることができるようにする。【構成】 変位プロープ6を多軸ステージ5で走査し、被測定面8と変位プロープ6間の変位の測定値とそのときの多軸ステージ5の座標値を用いて自由曲面形状を測定する形状測定装置において、被測定面8毎の実際の形状に関わらず、それらの被測定面の設計形状通りに変位プロープ6を走査させることによって同一の設計値を持つ複数の被測定面の形状を測定する。

請求項（抜粋）：

変位プロープ6を多軸ステージ5で走査し、被測定面8と変位プロープ6間の変位の測定値とそのときの多軸ステージ5の座標値を用いて自由曲面形状を測定する形状測定装置において、被測定面8毎の実際の形状に関わらず、それらの被測定面の設計形状通りに変位プロープ6を走査させることによって同一の設計値を持つ複数の被測定面の形状を測定することを特徴とする形状測定方法。