特許
J-GLOBAL ID：200903031725720821
基板回転保持装置および回転式基板処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-037893
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232410
出願日： 1996年02月26日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：
【要約】【課題】 基板裏面の汚染および風切り現象による基板の処理むらが発生することなく基板の損傷および破損が防止された基板回転保持装置およびそれを備えた回転式基板処理装置を提供することである。【解決手段】 回転部材2の上面に回転軸Aと同軸の円周に沿って複数の回転式保持部材5が取り付けられている。回転式保持部材5は、円柱状の保持部6、その保持部6よりも小さな直径を有する円柱状の支持ピン7および予備ピン8からなる。保持部6は回転部材2に回動可能に取り付けられ、支持ピン7および予備ピン8は保持部6の上面に回転軸に対して偏心して設けられる。保持部6の回動に伴って支持ピン7の外周面が基板100の外周端面に当接し、支持ピン7の破損時には保持部6がさらに回動して予備ピン8が基板100の外周端面に当接する。
請求項（抜粋）：
基板を水平に保持しつつ回転させる基板回転保持装置であって、水平姿勢で回転駆動される回転部材と、前記回転部材上に載置される前記基板の外周部に沿うように配設され、前記基板の外周端面に当接して前記基板の水平位置を規制する複数の第1の支持部材と、前記複数の第1の支持部材にそれぞれ対応して設けられ、前記回転部材上で前記回転部材の回転中心に対して前記複数の第1の支持部材よりも外側の位置にそれぞれ配置された複数の第2の支持部材とを備えたことを特徴とする基板回転保持装置。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 502
, H01L 21/027
, H01L 21/304 341
H01L 21/68 N
, G03F 7/16 502
, G03F 7/30 502
, H01L 21/304 341 C
, H01L 21/30 564 C
