特許

J-GLOBAL ID：200903031728929144

多孔質絶縁膜用樹脂、多孔質絶縁膜およびその製造方法

発明者： 吉橋 彩子 ,  村山 三素 ,  村田 満 ,  榎 尚史
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072687
公開番号（公開出願番号）：特開2002-356577
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2002年12月13日
要約：

【要約】【課題】 硬化反応前の有機樹脂系絶縁膜用材料を、不活性雰囲気下あるいは減圧雰囲気下で、硬化反応、熱分解反応させる熱処理を行うことにより、成分の微細な相構造を維持し、空孔を破壊することなく、微細孔が均一に分散した多孔質絶縁膜を製造する方法を提供する。【解決手段】 樹脂骨格中に閉環反応を起こし得る構造及び架橋反応を起こし得る置換基を持つマトリックス樹脂と熱分解性オリゴマーより、得られる絶縁膜形成用樹脂又は組成物を、ワニスとして、製膜し、有機溶剤の沸点以下の温度で、かつ、又は不活性雰囲気下あるいは減圧雰囲気下で、プリベークして、溶剤の一部を除去し、プリベーク温度よりも高く且つ前記熱分解性オリゴマーの熱分解温度よりも低い温度の不活性雰囲気下あるいは減圧雰囲気下で、熱処理して、マトリックス樹脂を閉環反応及び架橋反応させ、さらに熱分解性オリゴマーを分解揮散させて絶縁膜中に微細孔を生成させてなる。

請求項（抜粋）：

樹脂骨格中に閉環反応を起こし得る構造及び架橋反応を起こし得る置換基を持つマトリックス樹脂と熱分解性オリゴマーより得られる絶縁膜形成用樹脂又は組成物を有機溶剤に溶解させたワニスにより製膜し、前記有機溶剤の沸点以下の温度で、又は前記有機溶媒の沸点以下の温度で且つ不活性雰囲気下もしくは減圧雰囲気下で、熱処理してプリベークして、溶剤の一部を除去し、次いで、前記プリベーク温度よりも高く且つ前記熱分解性オリゴマーの熱分解温度よりも低い温度で、且つ不活性雰囲気下もしくは減圧雰囲気下で、熱処理して、前記マトリックス樹脂を閉環反応及び架橋反応させ、次いで、前記熱分解性オリゴマーの熱分解温度以上の温度で、且つ不活性雰囲気下もしくは減圧雰囲気下で、熱処理して、前記熱分解性オリゴマーを分解揮散させて、絶縁膜中に微細孔を生成させてなることを特徴とする多孔質絶縁膜。

IPC (4件)：

C08J 9/26 102 ,  C08J 9/26 CFG ,  C08G 73/06 ,  C08L 79:04

FI (4件)：

C08J 9/26 102 ,  C08J 9/26 CFG ,  C08G 73/06 ,  C08L 79:04 Z

Fターム (77件)：

4F074AA32 ,  4F074AA48 ,  4F074AA57 ,  4F074AA65 ,  4F074AA68 ,  4F074AA74 ,  4F074AA76 ,  4F074CB06 ,  4F074CB17 ,  4F074CC04X ,  4F074CC06X ,  4F074CC12Y ,  4F074DA47 ,  4J043PA08 ,  4J043PA09 ,  4J043PA19 ,  4J043QB33 ,  4J043RA06 ,  4J043SA06 ,  4J043SA42 ,  4J043SA47 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA47 ,  4J043TA66 ,  4J043TA71 ,  4J043TA72 ,  4J043TB03 ,  4J043UA042 ,  4J043UA052 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA142 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UA161 ,  4J043UA162 ,  4J043UA251 ,  4J043UA252 ,  4J043UA261 ,  4J043UA262 ,  4J043UB012 ,  4J043UB021 ,  4J043UB022 ,  4J043UB061 ,  4J043UB062 ,  4J043UB082 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB132 ,  4J043UB301 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA031 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA052 ,  4J043VA061 ,  4J043VA062 ,  4J043VA081 ,  4J043VA082 ,  4J043VA101 ,  4J043VA102 ,  4J043XA19 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB47