特許
J-GLOBAL ID:200903031734741807
圧力検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-295854
公開番号(公開出願番号):特開平11-132885
出願日: 1997年10月28日
公開日(公表日): 1999年05月21日
要約:
【要約】【課題】 ダイアフラムのシール性が低下したとしても、検出素子の特性変化を起こさないようにする。【解決手段】 筐体7と、筐体内部に配設され凹部1aを有したステム1と、ステム1に設けられた導体3と、導体に電気的に接続された圧力検出素子2と、凹部1aに満たされた媒体11と、ステム1と筐体7により挟まれ媒体11を封入するダイアフラム12を備えた圧力検出装置100において、媒体11にゲルまたは軟質の樹脂を用いた。
請求項(抜粋):
筐体と、該筐体内部に配設され凹部を有したステムと、該凹部に連通し前記ステムに設けられる導体と、前記凹部に設けられ前記導体が電気的に接続される圧力検出素子と、前記凹部に満たされる媒体と、前記ステムと前記筐体により挟まれ前記媒体を封入するダイアフラムを備えた圧力検出装置において、前記媒体にゲルまたは軟質の樹脂を用いることを特徴とする圧力検出装置。
IPC (2件):
G01L 9/04 101
, G01L 19/06
FI (2件):
G01L 9/04 101
, G01L 19/06 Z
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