特許
J-GLOBAL ID：200903031739020300

イオンガン及びそれを用いた圧電素子の周波数調整装置

発明者：
塩野 忠久

塩野 忠久 について


出願人/特許権者：
株式会社昭和真空

株式会社昭和真空 について


代理人 (8件)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  朝日 伸光 ,  三山 勝巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-287308
公開番号（公開出願番号）：特開2006-100205
出願日： 2004年09月30日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
【課題】 イオンビーム照射による圧電素子の周波数調整装置において、遮蔽マスク等の消耗を抑制する。【解決手段】 内部に放電部を有するプラズマ生成手段、及びプラズマ生成手段で生成されたプラズマからイオンを引き出してイオンビームを出射するグリッドからなるイオンガンにおいて、イオンビームの断面における電流密度分布を制御する制御手段を備える構成とした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
内部に放電部を有するプラズマ生成手段、及び該プラズマ生成手段で生成されたプラズマからイオンを引き出してイオンビームを出射するグリッドからなるイオンガンであって、 該イオンビームの断面における電流密度分布を制御する制御手段を備えたことを特徴とするイオンガン。
IPC (3件)：
H01J 37/04 ,  H01J 37/305 ,  H03H 3/04
FI (3件)：
H01J37/04 A ,  H01J37/305 A ,  H03H3/04 A
Fターム (4件)：
5C030AA01 ,  5C030AA04 ,  5C030AB05 ,  5C034BB10
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (7件)
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