特許
J-GLOBAL ID：200903031740083633
セラミックパッケージ用材料の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-313694
公開番号（公開出願番号）：特開平6-157171
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月03日
要約：
【要約】【目的】 AlN本来の高熱伝導性を損なうことなく、その表面に均一で色むらのない着色層を容易にかつ確実に形成すること。【構成】 SiCやTaN等などの有色のセラミック化合物からなる着色層をAlN焼結体の表面にスパッタリング法によって形成する。
請求項（抜粋）：
窒化アルミニウム焼結体(3,11)の表面に、有色のセラミック化合物からなる着色層(8,14)をスパッタリング法によって形成することを特徴としたセラミックパッケージ用材料の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 41/87
, C04B 35/58 104
