特許

J-GLOBAL ID：200903031741303670

透明導電膜

発明者： 阿相 順一 ,  荒井 芳博
出願人/特許権者： 東燃株式会社
代理人 (1件)： 久保田 耕平 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-218685
公開番号（公開出願番号）：特開平6-041723
出願日： 1992年07月27日
公開日（公表日）： 1994年02月15日
要約：

【要約】【目的】 低い抵抗率を有する透明導電薄膜を提供する。【構成】 Bi、Ti、Sn、In、Cd、Zn、Ni、Te、W、Mo、ZrおよびIrから選ばれる1種または2種以上の金属の酸化物を少なくとも含む、単層もしくは多層の膜であるところの透明導電膜において、さらに窒素原子が0.1〜60原子%含有されている。

請求項（抜粋）：

Bi、Ti、Sn、In、Cd、Zn、Ni、Te、W、Mo、ZrおよびIrから選ばれる1種または2種以上の金属の酸化物を少なくとも含む、単層もしくは多層の膜であるところの透明導電膜において、さらに窒素原子が0.1〜60原子%含有されていることを特徴とする透明導電膜。

IPC (4件)：

C23C 14/06 ,  C23C 16/30 ,  H01B 5/14 ,  H01L 31/04