特許

J-GLOBAL ID：200903031746257420

複合金属酸化物被膜形成用塗布液

発明者： 橋本 晃 ,  谷津 克也
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 伊東 彰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-269040
公開番号（公開出願番号）：特開平5-319958
出願日： 1992年08月27日
公開日（公表日）： 1993年12月03日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 1回の塗布処理により厚膜が得られる実用性の高い塗布液を提供する。【構成】 (イ)一般式M1An(A:OR、ハロゲン)で表わされる金属たとえばTiの化合物の中から選択される少なくとも1種とβ-ジケトン化合物との反応生成物、該反応生成物の部分加水分解物及び該反応生成物の部分アシル化物の中から選択される少なくとも1種、(ロ)多価アルコール化合物及び(ハ)一般式M2(OCOR)mで表わされる金属カルボン酸塩化合物、M2(NO3)mで表わされる金属たとえばPbの硝酸塩化合物及びM3(NO2)lで表わされる金属たとえばSrの亜硝酸塩化合物の中から選択される少なくとも1種を含有する溶液からなる複合金属酸化物被膜形成用塗布液と、上記 (イ)、(ロ)、(ハ)にさらに(ニ)アルコール可溶性ポリマーを含有する溶液からなる。

請求項（抜粋）：

(イ)一般式(I)M1An...(I)(式中、M1はTi、Zr、Nb、Hf又はTaを示し、Aは-OR又はハロゲン原子を示す。ここでRは炭素原子数1〜6の飽和又は不飽和炭化水素である。またnは2〜5の整数である)で表わされる金属化合物の中から選択される少なくとも1種とβ-ジケトン化合物との反応生成物、該反応生成物の部分加水分解物及び該反応生成物の部分アシル化物の中から選択される少なくとも1種、(ロ)多価アルコール化合物及び(ハ)一般式(II)、(III)及び(IV)M2(OCOR)m...(II)(式中、M2はPb、Sr、Ba、Mg、Zn、La、Y又はLiを示し、Rは炭素原子数1〜6の飽和又は不飽和炭化水素を示す。またmは1〜4の整数である)で表わされる金属カルボン酸塩化合物、M2(NO3)m...(III)(式中、M2はPb、Sr、Ba、Mg、Zn、La、Y又はLiを示す。またmは1〜4の整数である)で表わされる金属硝酸塩化合物、及びM3(NO2)l...(IV)(式中、M3はSr、Ba又はLiを示す。またlは1〜2の整数である)で表わされる金属亜硝酸塩化合物、の中から選択される少なくとも1種を含有する溶液からなる複合金属酸化物被膜形成用塗布液。

IPC (3件)：

C04B 41/85 ,  C04B 41/82 ,  H05K 1/03