特許
J-GLOBAL ID：200903031746395165
電子収量X線吸収スペクトル測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-026818
公開番号（公開出願番号）：特開2001-221756
出願日： 2000年02月03日
公開日（公表日）： 2001年08月17日
要約：
【要約】【課題】 電子収量X線吸収スペクトルの測定では、照射X線11のエネルギーを増加させて、試料から発生する電子19の強度の変化を観測するが、照射X線11のエネルギーの増加によって増加する散乱電子および2次電子によるバックグラウンド成分を一定値に保ち、その除去を容易にし、信号成分だけを精度よく取り出し、正確な定量解析を実現する。【解決手段】 X線吸収スペクトル測定において、試料15と検出器16の表面の電位差VS-VDを、照射X線11のエネルギーの増加(ステップΔEex(eV))と同期して、増加(ステップΔ(VS-VD))させ、そのステップ幅を等しく(ΔEex=Δ(VS-VD))することにより、検出される電子19のエネルギーの最小値を、照射X線のエネルギーの増加量と同じだけ増加させ、バックグラウンド成分となる散乱電子および2次電子の検出強度を一定値に保ち、回路的もしくは数値計算でoffsetを加えることにより、バックグラウンドを除去する。
請求項（抜粋）：
固体試料15にX線を照射し、前記試料15から放出される電子19を検出する電子収量X線吸収スペクトル測定装置において、照射X線11のエネルギーの増加ステップ幅ΔEex(eV)に同期して、ΔEex(V)ステップずつ試料15の電位VSを増加させることにより、照射X線11のエネルギーの増加と伴に増加するX線吸収スペクトルのバックグラウンド成分を一定値に保ち、これにoffsetを加えることによりバックグラウンドを引き去り、信号成分だけを取り出すことを特徴とした、電子収量X線吸収スペクトル測定装置。
Fターム (19件)：
2G001AA01
, 2G001BA07
, 2G001BA08
, 2G001BA09
, 2G001BA13
, 2G001BA14
, 2G001CA03
, 2G001DA02
, 2G001EA01
, 2G001EA04
, 2G001FA12
, 2G001FA21
, 2G001GA01
, 2G001GA09
, 2G001HA01
, 2G001JA01
, 2G001JA11
, 2G001JA14
, 2G001KA12
