流量センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤本英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-058199
公開番号（公開出願番号）：特開平7-243888
出願日： 1994年03月02日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】製造が容易でしかも調整をほとんど要することがない広い流量範囲にわたって安定に測定を行うことができる流量センサを得ること。【構成】内部にガスGが流れる管路11の表面にヒータ12を設けるとともに、このヒータ12の上流側、下流側の管路11の表面にそれぞれ第1温度センサ14、第2温度センサ15を設け、さらに、第1温度センサ14の上流側に第3温度センサ16を設け、第1温度センサ14における温度と第2温度センサ15における温度との平均値が第3温度センサ16の温度より常に一定温度だけ高くなるようにヒータ12に通電したときの温度センサ14,15の出力の変化に基づいてガス流量を測定するようにした。

請求項（抜粋）：

内部にガスが流れる管路の表面にヒータを設けるとともに、このヒータの上流側、下流側の管路の表面にそれぞれ第1温度センサ、第2温度センサを設け、さらに、第1温度センサの上流側に第3温度センサを設け、第1温度センサにおける温度と第2温度センサにおける温度との平均値が第3温度センサの温度より常に一定温度だけ高くなるようにヒータを加熱し、ガス流量がゼロのときの第1温度センサ、第2温度センサの抵抗値をそれぞれRu0 、Rd0とし、ガスが流れているときの第1温度センサ、第2温度センサの抵抗値をそれぞれRu、Rdとするとき、{(Ru-Rd)-(Ru0 -Rd0 )}×f(Ru-Rd)なる式に基づいて、前記管路中のガスの質量流量を求めることを特徴とする流量センサ。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開平2-120620
特開昭63-208717
特開平4-366725

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