特許
J-GLOBAL ID:200903031749903552

NDIR測定装置に使用されるショートエタロン・ファブリー・ペロー干渉計を制御する方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡部 正夫 (外11名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-176473
公開番号(公開出願番号):特開平9-033345
出願日: 1996年07月05日
公開日(公表日): 1997年02月07日
要約:
【要約】【課題】 NDIR測定装置に使用されるショートエタロン・ファブリー・ペロー干渉計を制御するための全く新しい方法を提供する。【解決手段】 本方法によれば、放射線源1によって測定信号を発生する。該測定信号は、測定すべきガス混合物を収容するサンプリングポイント2の中に入れられる。上記測定信号は、干渉計の通過帯域の少なくとも2つの波長a,bを用いて、電気的に同調可能なファブリー・ペロー干渉計4によって、帯域濾波される。、上記測定信号は、検知を行う前に、光学フィルタ要素3に通される。濾波された測定信号は、検知器5によって検知される。本発明によれば、干渉計4の通過帯域の周波数cは、測定サイクルの間に、上記光学フィルタ要素の遮断波長範囲dと少なくとも部分的に一致するように、制御される。
請求項(抜粋):
NDIR測定装置に使用されるショートエタロン・ファブリー・ペロー干渉計(4)を制御する方法において、放射線源(4)によって測定信号を発生する工程と、測定すべきガス混合物を収容するサンプリングポイント(2)の中に、前記測定信号を入れる工程と、干渉計の通過帯域の少なくとも2つの波長(a,b)を用いて、電気的に同調可能なファブリー・ペロー干渉計(4)によって、前記測定信号を帯域濾波する工程と、検知を行う前に、前記測定信号を光学フィルタ要素(3)に通す工程と、光学的に濾波され前記測定信号を検知器(5)によって検知する工程とを備え、前記測定サイクルの間に、前記干渉計(4)の前記通過帯域の波長(c)を制御して、前記光学フィルタ要素の遮断波長範囲(d)に少なくとも部分的に一致させることを特徴とする、ショートエタロン・ファブリー・ペロー干渉計の制御方法。
IPC (4件):
G01J 3/42 ,  G01B 9/02 ,  G01N 21/35 ,  G01N 21/61
FI (4件):
G01J 3/42 U ,  G01B 9/02 ,  G01N 21/35 Z ,  G01N 21/61
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特表平6-509169

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