特許
J-GLOBAL ID：200903031751618253
イオンビームの加速装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-076811
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273895
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【構成】 半導体の製造工程などに用いられるイオン注入装置の加速装置1において、入出力両端側の加速電極P1,P2の間にフォーカス電極P3を設け、前記電極P1,P2間の加速電源21とともに電位可変であるフォーカス電源22をP1,P3間に接続する。また、出力端側の電極P2と大地構造物15との間に絶縁体27を介在し、両者間を流れる電流を電流計28で計測する。加速電極P2からフォーカス電極P3への2次電子の流入によって前記電流計28の計測結果が所定値以上となると、制御回路29は電源21〜23を停止させて、イオンビームを消勢する。【効果】 加速電極P2からのフォーカス電極P3への2次電子の流入による該電極P3の電位の低下を抑え、フォーカス電圧Vfが加速電圧Vaccに近接してしまうことによるフォーカス電源22への過電圧の発生を防止することができる。
請求項（抜粋）：
イオンビームの少なくとも入出力両端側に設けられる加速電極と、前記入出力両端側の両加速電極の間に設けられるフォーカス電極と、前記入出力両端側の両加速電極間に加速電圧を印加する加速電源と、入力端側の加速電極と前記フォーカス電極との間に、任意に変化することができるフォーカス電圧を印加するフォーカス電源と、イオンビームの出力端に設けられ、大地と前記出力端側の加速電極との間を電気的に絶縁する絶縁手段と、前記大地と出力端側の加速電極との間に流れる電流値を検出する検出手段と、前記検出手段の検出値が予め定める電流値以上であるときには、イオンビームを消勢する消勢手段とを含むことを特徴とするイオンビームの加速装置。
IPC (5件)：
H05H 5/06
, C23C 14/32
, G21K 1/087
, H01J 37/317
, H01L 21/265
H05H 5/06
, C23C 14/32 C
, G21K 1/087 F
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/265 D
