特許
J-GLOBAL ID:200903031754384563
慣性装置用ステージ及び筐体
発明者:
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出願人/特許権者:
,
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-353751
公開番号(公開出願番号):特開2002-161321
出願日: 2000年11月21日
公開日(公表日): 2002年06月04日
要約:
【要約】【課題】 十分な剛性を有し、さらには軽量で作業性の良い慣性装置用ステージ及び筐体に関する技術を提供する。【解決手段】 含有量が20〜80体積%のSiC粉末を強化材とし、Al-Si-Mg系のアルミニウム合金をマトリックスとする金属-セラミックス複合材料により慣性装置用ステージ及び筐体を構成する。
請求項(抜粋):
セラミックス粉末またはセラミックス繊維を強化材とし、アルミニウムまたはアルミニウム合金をマトリックスとする金属-セラミックス複合材料からなることを特徴とする慣性装置用ステージ及び筐体。
IPC (7件):
C22C 1/10
, C22C 49/06
, G01C 19/00
, G01C 21/00
, C22C101:04
, C22C101:14
, C22C101:16
FI (7件):
C22C 1/10 G
, C22C 49/06
, G01C 19/00 Z
, G01C 21/00 Z
, C22C101:04
, C22C101:14
, C22C101:16
Fターム (14件):
2F029AA02
, 2F029AB03
, 2F105AA02
, 2F105BB12
, 2F105BB14
, 2F105BB20
, 4K020AA05
, 4K020AA06
, 4K020AA07
, 4K020AA22
, 4K020AC01
, 4K020BA05
, 4K020BB02
, 4K020BB22
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