特許
J-GLOBAL ID：200903031757622538
回路パターンの検査方法および検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-279459
公開番号（公開出願番号）：特開平9-033211
出願日： 1995年10月26日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：
【要約】【目的】ランドの位置を簡単かつ汎用性の高い方法で精度よく求める。【構成】回路パターンの画像を測定基準点とともにモニタ装置の画面上に表示し(S1)、着目するランドの画像に測定基準点を位置させる(S2)。次に、測定基準点を始点として互いに異なる方向の複数本の直線上にそれぞれ同じ間隔で複数個の検出点を設定し、少なくとも1個の検出点にランドが重ならなくなるまで上記各直線上での検出点の間隔を所定距離ずつ大きくする処理を繰り返す(S3〜S6)。いずれかの検出点がランドに重ならなくなるとその検出点をランドに重ならせる向きに測定基準点を移動させる(S7)。ステップS7で測定基準点の移動後にランドに重ならない検出点について所定条件が満たされるまでステップS3〜S7を繰り返し、条件が満たされたときに測定基準点の位置をランドの中心位置に相当するホール中心対応点とする(S8,S9)。
請求項（抜粋）：
回路パターンを撮像した画像に基づいて回路パターンにおけるランドの中心位置の位置ずれを検査する回路パターンの検査方法において、回路パターンの画像をランドの中心位置を測定する基準となる測定基準点とともにモニタ装置の画面上に表示する第1過程と、着目するランドの画像内に測定基準点を位置させる第2過程と、上記測定基準点を始点とした互いに異なる少なくとも2方向の直線上にそれぞれ同じ間隔で既定の複数個ずつの検出点を設定し、少なくとも1個の検出点にランドが重ならなくなるまで各検出点がランドに重なるか否かの判定と上記各直線上での検出点の間隔を所定距離ずつ大きくする処理とを繰り返す第3過程と、いずれかの検出点がランドに重ならなくなるとその検出点をランドに重ならせる向きに測定基準点を移動させる第4過程と、第4過程で測定基準点の移動後にランドに重ならない検出点が所定個数以上になるか特定の位置関係を持つかの少なくとも一方の条件が満たされるまで第3過程と第4過程とを繰り返し、上記条件が満たされたときに測定基準点の位置をランドの中心位置に相当するホール中心対応点とする第5過程とを有することを特徴とする回路パターンの検査方法。
IPC (5件)：
G01B 11/00
, G01B 11/24
, G01N 21/88
, G06T 7/00
, H05K 3/00
G01B 11/00 A
, G01B 11/24 F
, G01N 21/88 F
, H05K 3/00 Q
, G06F 15/62 405 A
