特許
J-GLOBAL ID：200903031768276682
角速度センサ素子及び角速度検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大菅 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209429
公開番号（公開出願番号）：特開平10-047970
出願日： 1996年08月08日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】音叉形水晶片により角速度を高感度かつ高信頼性で検出する角速度センサ素子および角速度検出装置を提供する。【解決手段】角速度センサ素子は、音叉形水晶片1と、駆動電極2a〜2hと、その中の外側面電極2b、2fの中央線に対称な位置にそれぞれ配設された一対の検出電極3a、3b及び3c、3dとから成る。駆動電極2a〜2hからの駆動によりX軸方向に屈曲振動中の素子に角速度が印加されて新たなZ軸方向の屈曲振動が発生すると、そのZ軸方向の屈曲振動を検出電極がそれぞれ検出する。この検出電極の3bと3dを共通接続することにより他の加速度による雑音成分を高性能に除去できる。また角速度検出装置は、検出電極3a、3b及び3c、3d夫々から検出信号を入力し共振駆動用周波数を基準クロックとして用い検出信号に対し角速度センサ素子の振動に同期するディジタル信号処理を行い雑音信号である同相分を除去し、位相検波して検出すべき角速度を正しく検出する。
請求項（抜粋）：
水晶の結晶を所定の角度で切断して得られる一対の脚とこれらの脚の一端を連結する基部とからなる音叉形の水晶片と、該水晶片の一方の脚の主面の電極と他方の脚の側面の電極を共通に接続するとともに一方の脚の側面の電極と他方の脚の主面の電極を共通に接続して第1の屈曲振動を励振する励振電極と、前記一対の脚の面の前記水晶片の中心軸に対称な位置に前記励振電極から絶縁して形成され、前記水晶片に外部から作用した前記水晶片の中心軸を軸として回転する角速度に対応してコリオリの力によって発生する第2の屈曲振動を検出する検出電極と、を具備することを特徴とする角速度センサ素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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特開平3-291517
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振動式センサ
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-152445
出願人：キンセキ株式会社
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特表平4-504617
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