特許

J-GLOBAL ID：200903031773787130

ダイヤフラム構造体

発明者： 武内 幸久 ,  七瀧 努 ,  増森 秀夫 ,  竹内 勝之
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 中島 三千雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-175320
公開番号（公開出願番号）：特開平8-078746
出願日： 1994年07月27日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 ダイヤフラム部位における凹みやクラック等の発生のない、信頼性の高い、薄肉ジルコニアダイヤフラム構造体と、それを有利に製造する方法を提供し、また、該ダイヤフラム構造体を用いた素子、特に圧電/電歪膜型素子を提供する。【構成】 少なくとも一つの窓部(6)を有するジルコニアグリーン基体(4)に対して、薄肉のジルコニアグリーンシート(8)を一体的に積層せしめてなる積層物を、一体焼成して得られる薄肉のジルコニアダイヤフラム構造体において、該基体に、アルミナ源材料、シリカ源材料、(アルミナ+シリカ)源材料、(アルミナ+マグネシア)源材料、または(アルミナ+シリカ+マグネシア)源材料を、それら源材料にて与えられる各成分の焼成体中における含有割合が所定量となるように含有せしめた。

請求項（抜粋）：

少なくとも1つの窓部を有するジルコニア基体と、該窓部を覆蓋する薄肉のジルコニアダイヤフラム板とを含んで構成される一体焼成物であって、該窓部において薄肉のジルコニアダイヤフラムが形成されてなる構造体において、前記ジルコニア基体が、0.1〜3.0重量%の割合のアルミナ成分、0.1〜3.0重量%の割合のシリカ成分、合計量で0.1〜5.0重量%の割合のアルミナ成分及びシリカ成分、合計量で0.1〜5.0重量%の割合のアルミナ成分及びマグネシア成分、または合計量で0.1〜5.0重量%の割合のアルミナ成分、シリカ成分及びマグネシア成分を含有することを特徴とする薄肉ジルコニアダイヤフラム構造体。

IPC (5件)：

H01L 41/08 ,  C04B 35/48 ,  G01L 1/18 ,  G01L 9/04 101 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

H01L 41/08 Z ,  C04B 35/48 D