特許
J-GLOBAL ID：200903031777262228
表面形状測定装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-103656
公開番号（公開出願番号）：特開平7-311208
出願日： 1994年05月18日
公開日（公表日）： 1995年11月28日
要約：
【要約】【目的】 原子間力を検出してナノメータオーダで表面の形状を測定する装置例えばAFMにおいて、Q値の高いカンチレバーを有したノンコンタクトモードのAFMを提供する。【構成】 原子間力検出用探針付きカンチレバーを、カンチレバー上に形成された自己励振手段によりカンチレバーの共振周波数付近で振動させ、同時に光てこによりカンチレバーの振動状態の変化を検出し、これにより表面形状を測定する。
請求項（抜粋）：
原子間力を検出してナノメータオーダで表面の形状を測定する装置において、原子間力検出用探針付きカンチレバーを、カンチレバー上に形成された自己励振手段によりカンチレバーの共振周波数付近で振動させ、同時に光てこによりカンチレバーの振動状態の変化を検出し、これにより表面形状を測定することを特徴とする表面形状測定装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
