特許

J-GLOBAL ID：200903031779138095

リードフレームの検査装置

発明者： 牧野 晴久
出願人/特許権者： アピックヤマダ株式会社
代理人 (1件)： 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-101386
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293018
出願日： 1997年04月18日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 帯状に連続するリードフレーム表面状態の異常を高速かつ高精度で検査可能であると共に、リードフレームの裏面側に存在する打痕等の異常も簡単な構成で検出可能とする。【解決手段】 照明手段は搬送されるリードフレーム3に光を照射する。CCDカメラ6cはリードフレーム3の単位リード形成領域の画像入力を行う。制御手段8はCCDカメラ6cを介して取り込んだ入力画像の輝度を解析し、得られた解析値と予め記憶部に記憶させた記憶値との比較を行うことにより、リードフレーム3の異常を検出してエラーを出力表示する。そして照明手段は、CCDカメラ6cの光軸Gを取り囲むリング状照明6bを、リードフレーム3とCCDカメラ6cとの間に光軸G方向に多段に配置して成る。

請求項（抜粋）：

搬送されるリードフレームに光を照射する照明手段と、前記リードフレームの単位リード形成領域の画像入力を行う撮像カメラと、前記撮像カメラを介して取り込んだ入力画像の輝度を解析し、得られた解析値と予め記憶部に記憶させた記憶値との比較を行うことにより、前記リードフレームの異常を検出してエラーを出力表示する制御手段とを具備するリードフレームの検査装置において、前記照明手段は、前記撮像カメラの光軸を取り囲むリング状照明を、前記リードフレームと前記撮像カメラとの間に前記光軸方向に多段に配置して成ることを特徴とするリードフレームの検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/89 ,  G06T 1/00 ,  H01L 23/50

FI (4件)：

G01B 11/30 E ,  G01N 21/89 B ,  H01L 23/50 C ,  G06F 15/64 320 F