特許
J-GLOBAL ID:200903031780154398

バリアリブ成形用雌型の製造方法及び装置、バリアリブ成形用雌型、バリアリブの製造方法及び装置、並びに、プラズマディスプレイパネル

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 黒田 壽
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-231570
公開番号(公開出願番号):特開2001-057147
出願日: 1999年08月18日
公開日(公表日): 2001年02月27日
要約:
【要約】 (修正有)【課題】 輝度を向上させることができ、強度の高い原型体を成形するバリアリブ成形用雌型の製造方法及び装置プラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】 バリアリブに対応したマスキングパターンが形成されたフィルム31を介して光源32からの照射光32aを感光樹脂板30に露光する。照射光は平行光とし、光源とフィルムとを相対移動して、光源の平行光の照射角度を変化させて、フィルムを介して感光樹脂板の断面領域へ照射光を露光し、感光樹脂板にフォトレジスト加工を施して、感光樹脂板に台形状の開口30aを食刻する。感光樹脂板をバリアリブ成形用雌型あるいは雛形としてバリアリブの原型体を成形し、原型体を焼成炉内で焼成して、PDPの背面板上に台形状のバリアリブを形成する。
請求項(抜粋):
プラズマディスプレイパネルのバリアリブに対応するマスキングパターンが形成されたフィルムを介して、光源から照射される光を感光樹脂板に露光し、該感光樹脂板にフォトレジスト加工を施すことにより、該感光樹脂板に該バリアリブに対応した開口を食刻し、該開口が食刻された感光樹脂板を、バリアリブの原型体を形成するためのバリアリブ成形用雌型あるいは該バリアリブ成形用雌型を形成するための雛形とするバリアリブ成形用雌型の製造方法において、上記光源からの照射光を平行光とし、該光源と上記フィルムとを相対移動し、該フィルムを介して上記感光樹脂板の断面領域へ入射される照射光の照射角度を変化させて、該感光樹脂板にフォトレジスト加工を施すことにより、該感光樹脂板の開口を台形状に形成したことを特徴とするバリアリブ成形用雌型の製造方法。
IPC (2件):
H01J 9/02 ,  H01J 11/02
FI (2件):
H01J 9/02 F ,  H01J 11/02 B
Fターム (11件):
5C027AA09 ,  5C040GC19 ,  5C040GF12 ,  5C040GF19 ,  5C040JA19 ,  5C040JA20 ,  5C040JA22 ,  5C040JA31 ,  5C040LA17 ,  5C040MA03 ,  5C040MA23

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