特許

J-GLOBAL ID：200903031785783318

表面抵抗の測定装置及び測定方法

発明者： 和田 昇
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 住吉 多喜男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-055709
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260848
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 半導電性材料の表面の電気抵抗値を連続的に測定する装置と方法を提供する。【構成】 測定試料12は、ロール状の芯金12aの表面に半導電性材料膜22が積層されている。測定ヘッド100は、1対の転がり電極160,170を有し、直流電源60の正極は第1の転がり電極160と芯金12aに連結される。第2の転がり電極170は負極に連結される。微小電流計60は試料表面に接して回転する電極160,170間に流れる電流を検出し、コンピュータ200は電流値に基づいて表面抵抗値を連続的に演算する。

請求項（抜粋）：

試料の表面に接触される1対の電極を有する測定ヘッドと、電極間に直流電圧を印加する電源と、電極間に流れる電流を検知する電流計と、電流計により検知された電流値に基づいて試料の表面電気抵抗値を演算する手段を備えた表面抵抗測定装置において、測定ヘッドは軸間距離を固定された1対の転がり電極を有し、測定ヘッドと試料を相対移動させる手段を備えることを特長とする表面抵抗測定装置。