特許
J-GLOBAL ID：200903031789185016
プラズマディスプレイの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-094297
公開番号（公開出願番号）：特開2004-303550
出願日： 2003年03月31日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：
【課題】高精細な隔壁を形成する場合、感光性ガラスペースト法では、凹凸のあるガラスペースト表面を直接露光するため、表面での光散乱が大きく、良好な隔壁形状が得られる露光量の範囲(露光マージン)が狭い問題があった。【解決手段】基板上に有機成分と無機粒子とからなる感光性ペースト塗膜を形成した後キュアする工程と前記塗膜上に透明塗膜を形成する工程と、所定の開口パターンを有するマスクを用いて前記感光性ペースト塗膜を前記透明塗膜上から露光する工程を経た後に、前記感光性ペースト塗膜と前記透明塗膜を同時に現像によって除去することにより隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法である。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
基板上に有機成分と無機粒子とからなる感光性ペースト塗膜を形成した後キュアする工程と前記塗膜上に透明塗膜を形成する工程と、前記感光性ペースト塗膜を前記透明塗膜上から露光する工程を経た後に、前記感光性ペースト塗膜と前記透明塗膜を同時に現像によって除去することにより隔壁を形成することを特徴とするプラズマディスプレイの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (14件)：
5C027AA09
, 5C040FA10
, 5C040GF18
, 5C040GF19
, 5C040JA02
, 5C040JA15
, 5C040JA28
, 5C040KA08
, 5C040KA16
, 5C040KB13
, 5C040KB29
, 5C040LA17
, 5C040MA23
, 5C040MA24
