特許
J-GLOBAL ID：200903031793335685
垂直針型プローブカード、その製造方法およびその不良プローブ針の交換方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-288356
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125646
出願日： 1997年10月21日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：
【要約】【課題】 プローブ針の高さ方向のばらつきがある程度大きくても、必要な針圧が得られるように改良された垂直針型プローブカードを提供することを主要な目的とする。【解決手段】 プローブ針4の上方部分4aが上側ガイド板5により支持されている。プローブ針4の下方部分4cは、下側ガイド板6によって支持されている。プローブ針4の上方部分4aは、L字型に折曲げられている。上側ガイド板5の上に導電性ゴムシート20およびプリント配線基板7が設けられている。
請求項（抜粋）：
プローブ針の下方部分をICのパッドに垂直にコンタクトさせ、ICからの電気的信号をテスターに伝達させる垂直針型プローブカードであって、上方部分と前記下方部分と、これらを結ぶ中間部分とを有するプローブ針と、前記プローブ針の前記上方部分を貫通させて、該上方部分を支持する上側ガイド板と、前記上側ガイド板の下に設けられ、前記プローブ針の前記下方部分を貫通させて、該下方部分を支持する下側ガイド板と、前記上側ガイド板の上に設けられた導電性ゴムシートと、前記導電性ゴムシートの上に設けられたプリント配線基板と、前記導電性ゴムシート中に設けられ、前記プローブ針の前記上方部分と前記プリント配線基板とを電気的に接続し、ICからの電気的信号をテスターに伝達するための導通路と、を備えた垂直針型プローブカード。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 E
, H01L 21/66 B
