特許
J-GLOBAL ID：200903031799804881
アブレーションデブリス除去装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
武 顕次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-128167
公開番号（公開出願番号）：特開平8-318390
出願日： 1995年05月26日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】アブレーション加工の対象となる全ての被加工材料とエキシマレーザー光の入射エネルギーに対して、アブレーション加工プロセスにおいてリアルタイムでデブリスを除去する装置を提供する。【構成】エキシマレーザー光を照射するアブレーション加工部に臨んだ位置に吸引ノズル1を有する真空吸引装置を具備し、前記アブレーションで生じたデブリスAを吸引して除去する。
請求項（抜粋）：
エキシマレーザー光を照射するアブレーション加工部に臨んだ位置に真空吸引装置を具備し、前記アブレーションで生じたデブリスを吸引して除去することを特徴とするアブレーションデブリス除去装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23K 26/14 A
, H01S 3/00 B
